FilmElli – удобное программное обеспечение предназначенное для анализа данных эллипсометрических измерений. FilmElli может использоваться в эллипсометрических исследованиях разнообразных многослойных покрытий.
В частности, FilmElli:
- Решает обратную задачу эллипсометрии для неограниченного количества искомых параметров (показатель преломления, экстинция, толщина), любого количества слоев.
- Одновременно рассчитывает неограниченное число опытных пар Ψ и Δ полученных при различных углах падения луча любой длины волны излучения.
- Пересчитывает измеренные значения углов (в градусах) поляризатора и анализатора (в системе с фиксированным компенсатором), в значения Ψ и Δ при усреднении по 1, 2, 3 или 4 эллипсометрическим зонам.
- Решает прямую задачу эллипсометрии с графическим представлением зависимостей Ψ( φ ) и Δ( φ ) для экспериментальных пар Ψ, Δ и рассчитанных по «предложенной» и оптимизированной моделям многослойного покрытия. Разрешает экспортирование полученных зависимостей Ψ(φ) и Δ(φ) в таблицу MS Excel.
- Строит номограмму по двум любым переменным (толщина, преломление, экстинция) в любых слоях. В исходных данных вводятся интервал варьирования и шаг для каждой переменой, угол падения луча и длина волны излучения. Разрешает экспортирование полученной номограммы в таблицу MS Excel.
- Строит изображение поверхности изолиний минимизирующего функционала в зависимости от двух любых параметров любого слоя.
- Формирует удобный, доступный для редактирования отчет результатов расчета. Разрешает экспортирования полученного отчета в документ MS Word.
- Ведет базу данных материалов, что обеспечивает пользователю быстрое и удобное построение модели многослойного покрытия.
- Сохраняет экспериментальные данные и параметры модели многослойной системы для последующей работы.
Интернет
Математические
